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      (1)按控制系統(tǒng)的結構分  ①開環(huán)控制系統(tǒng)。是指系統(tǒng)的輸出量對系統(tǒng)的控制作用沒有影響的系統(tǒng),其原理如
6-1所示。例如:真空泵的控制即為這類系統(tǒng)。開環(huán)控制的缺點是控制過程受到各種擾動因  素影響時,將會直接影響輸出量,而控制系統(tǒng)能自動補償。  ②閉環(huán)控制系統(tǒng)。若系統(tǒng)能夠?qū)Ρ豢刂茖ο蟮妮敵鲂盘?被控制量)進行連續(xù)測量,  并通過反饋環(huán)節(jié)反饋到控制裝置輸入端,與輸入信號(給定值)進行比較,形成偏差信號。 

擴散泵的加熱功率對泵的極限壓強、抽氣速率、前級耐壓和抽氣量等性能參數(shù)  影響較大。圖2-17給出了這些影響數(shù)據(jù)曲線  般說來,油溫、前級極限壓力、抽氣量都隨著加熱功率的增加而增加,但過  高的加熱功率反而使抽速降低,這是因為過高的蒸氣分子密度降低了入射氣體分子  的擴散系數(shù)和蒸氣流邊層湍流效應的增加以及油的熱裂解等原因造成的。

爪式泵有高的容積效率  和內(nèi)壓縮,轉子可高速無接觸的運轉,是實現(xiàn)干式抽氣較好的抽氣機構,但它也需要多級串聯(lián)  方能達到所需的極限壓力  爪式轉子除能壓縮氣體之外,還有轉子自行開閉的閥門作用,即可周期地開閉泵腔的入口  和出口。由于有內(nèi)壓縮和這種閥門作用,可實現(xiàn)高的壓縮比和高的容積效率。在功率消耗低的  情況下有較高的抽速。被抽氣體的種類對壓縮比的影響較小。轉子與泵體之間的間隙較大,小  顆粒物很容易被抽除。這種抽氣原理的干式泵,目前我國已有多家生產(chǎn)  圖7-78所示為全爪式轉子的四級泵的結構示意圖。

 在真空技術研究中,通過對超高真空系統(tǒng)內(nèi)殘余氣體主要成分分析,可以判斷  系統(tǒng)是否漏氣、漏率數(shù)值大小、是否存在由于材料選擇不當而造成材料出氣、主要  氣體來源等,以便正確選擇抽氣手段和工藝,提高系統(tǒng)的極限壓力  殘余氣體譜獲得的最簡單方法是將質(zhì)譜計探頭安裝在真空系統(tǒng)適當位置,當真  空系統(tǒng)的壓力滿足質(zhì)譜計工作條件要求時,利用模擬掃描模式(或棒掃描模式)在  儀器的工作質(zhì)量范圍內(nèi),選擇適當?shù)膮?shù)對系統(tǒng)進行全譜掃描,記錄系統(tǒng)殘余氣體  的全譜圖

對各種真空泵的性能,都有規(guī)定的測試方法來檢驗其性能的優(yōu)劣。真空泵的主要性能有  (1)真空泵的技術術語  極限壓力、流量及抽氣速率等。除外,對蒸氣流泵而言,還有啟動壓力、何氏系數(shù)等名詞術  語來表達泵的有關性能和參數(shù)。  ①極限壓力( ultimate pressure of a pump)  真空與準試驗罩檢測容器相連:并按規(guī)定的條件工作,在不引人氣體正常工  作的情況下,趨向穩(wěn)定的最低壓力。