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除塵器  往復(fù)泵、油封機(jī)械泵不適于抽含有灰塵的氣體?；覊m能污染油并且磨損泵腔內(nèi)表面產(chǎn)生  漏氣，使極限真空下降。防止灰塵的辦法是裝置除塵器。在真空冶金爐上常用的除塵器配置  方法如圖3-13所示。圖3-13(a)所示方案適用于始終都需要保護(hù)機(jī)械泵的真空裝置中；圖  3-13(b)所示方案適用于在冶煉過(guò)程中某一階段要求對(duì)真空泵進(jìn)行保護(hù)的情況；圖3-13(c)  所示方案適用于連續(xù)、半連續(xù)生產(chǎn)的真空裝置中  除塵器能保護(hù)機(jī)械泵，但嚴(yán)重地降低了泵的有效抽速，增加了設(shè)備投資，給維修運(yùn)轉(zhuǎn)帶  來(lái)不便。

渦輪分子泵正常工作需要小于1Pa的前級(jí)壓力。一般的機(jī)械泵可作為該泵的前級(jí)泵  中頻電動(dòng)機(jī)的啟動(dòng)由中頻電源內(nèi)的電子裝置控制。在幾分鐘內(nèi)使泵升至額定轉(zhuǎn)速。中頻電機(jī)  工作時(shí)通常以風(fēng)扇或通水進(jìn)行冷卻  當(dāng)泵進(jìn)入正常轉(zhuǎn)速后,為達(dá)到極限壓力,應(yīng)對(duì)被抽容器及泵體進(jìn)行烘烤除氣,泵體的除 

小型氨流程低溫泵  氦流程低溫泵的低溫板,靠液氦汽化的低溫氣氦進(jìn)行冷卻,氦由外部的液氦貯  槽(或液氦裝置)連續(xù)不斷地自動(dòng)調(diào)節(jié)流量供給低溫板,它的優(yōu)點(diǎn)是低溫板可工作