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   (1)運用  渦輪分子泵正常工作需要小于1Pa的前級壓力。一般的機械泵可作為該泵的前級泵  中頻電動機的啟動由中頻電源內(nèi)的電子裝置控制。在幾分鐘內(nèi)使泵升至額定轉(zhuǎn)速。中頻電機  工作時通常以風扇或通水進行冷卻  當泵進入正常轉(zhuǎn)速后,為達到極限壓力,應對被抽容器及泵體進行烘烤除氣,泵體的除  氣溫度為100~120℃,除氣后可得到約10-8的極限壓力  需要注意的是:①渦輪分子泵對相對分子質(zhì)量大的氣體壓縮比大,故極限壓力主要取  決于相對分子質(zhì)量小的氣體成分。如H2、He等。此外,容器及泵體放出的水汽也是影響  極限壓力的重要因素。  ②渦輪分子泵低真空部位的軸承潤滑油也是一個重要污染源,因此該泵是一個準無  油的真空泵。在泵停止運轉(zhuǎn)時,應及時灌入干燥氮氣,可以抵制潤滑油蒸氣的擴散。若  想得到全無油的渦輪分子泵,必須對軸承進行改進,如可使用氣體軸承,磁懸浮軸承的  分子泵。  由于該泵具有高速旋轉(zhuǎn)的部件,使得它不能在磁場下運用。因為這會產(chǎn)生渦流導致  、葉片變形等效果。一般允許的雜散磁通密度為0.004~0.011T。  ④渦輪分子泵雖然具有啟動快、停泵快的優(yōu)點。但該泵的缺點對H2、He等輕質(zhì)量氣  體的壓縮比小。也由于泵內(nèi)旋轉(zhuǎn)部件與靜止部件間間隙很小,必須注意防止各種碎屑飛入泵
內(nèi),造成損傷的事故  (2)環(huán)境條件要求  渦輪分子泵應在下列環(huán)境條件下工作  ①環(huán)境溫度為4~40℃;  ②空氣相對濕度小于85%;  ③冷卻水進水溫度不高于25℃  (3)泵的使用條件  ①泵應避免抽除帶粉塵、腐蝕性或爆炸性氣體。泵在正常運轉(zhuǎn)時,不允許直接引入大  氣,不允許有強烈徑向振動  ②為了除氣目的,對泵殼測試罩和真空測量規(guī)管進行烘烤。其烘烤溫度:泵體及泵殼  上的法蘭為120℃,測試罩或真空容器為300℃;真空測試規(guī)管為400℃。  ③推薦的前級泵應符合表422要求
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