正宇真空設備
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全無油抽氣系統(tǒng),濺射離子泵是最常見一種,它與前面介紹的幾種抽氣系統(tǒng)最大的區(qū)別 除了粗抽階段之外,正常運轉期間,被抽氣體沒有排到大氣中去,而是儲存在泵內的鈦限 中。操作簡便、無振動噪聲、無有重碳氫化合物污染,若粗抽時采用吸附泵或無油機械泵 不存在粗抽泵的污染問題,廣泛用于需要潔凈的小型超高真空裝置中。它的主要問題是抽氣 容量問題,由于氣體是以吸附在鈦膜內方式,理論上泵的壽命與工作壓力成反比,因此它的 長期工作壓力越低,壽命越長,工作在10-2Pa的壽命是10-Pa的壽命的百分之
其次 是泵的磁場問題,需要用于對磁場有限制的場所,就需要對其磁場進行屏蔽 圖326是用于表面研究的濺射泵吸附泵組成的無油超高真空系統(tǒng)。
為了彌補濺射離子泵的抽速小、容量有 限的缺點,采用濺射離子泵與鈦升華泵組成 抽氣機組。主泵是鈦升華泵,吸氣面用液氮 冷卻,鈦升華泵可直接裝在真空室內,也可 以向圖中所示的將鈦升華泵與濺射離子泵并 聯(lián)(或串聯(lián))在一起。真空室1用不銹鋼制 m,容積100L, 成,直徑45
高 法蘭采用銅墊圈密封,粗抽用三個分子
篩泵 及無油機械泵。系統(tǒng)用無油機械泵從大氣抽 到10~100Pa,然后啟動分子篩吸附泵預抽, 圖3-26濺射離子泵-吸附泵抽氣系統(tǒng) 1真空室;2一無油機械泵;3一分子篩吸附泵;這種方法比較經濟,并且能夠極大地縮短預 射離子泵鈦升華泵
抽時間。也可以使用分子篩泵直接從大氣預 抽,但是需要更大容量的吸附泵,還需要采用二級或三級吸附抽氣。二級抽氣方法是先用 級從大氣粗抽到1000Pa,關閉一級吸附泵,再用二級泵抽到0.4~0.2Pa。三級抽氣是第
3.5超高真空系統(tǒng)及抽氣機組((11 級抽到3000~5000Pa,第二級抽到15Pa,第二級抽到0.1Pa。通常當真空室達到5×10-1 Pa時就可以關閉分子篩吸附泵啟動鈦升華泵,當真空室壓力降低到5×10-2Pa時就可以啟 動離子泵。 根據工藝流程中的工作壓力盡可能讓離子泵工作在10-3Pa或更低的壓力下,這樣能夠 大大延長離子泵的使用壽命。在鈦泵工作期間,可根據氣流量采用連續(xù)蒸發(fā)或斷續(xù)蒸發(fā), 般說來,高壓力下需要連續(xù)蒸發(fā),低壓下(例如10=5Pa)可以斷續(xù)蒸發(fā),隨著壓力降低, 蒸發(fā)時間間隔可以不斷加長,直至關閉鈦泵,讓離子泵單獨工作 圖中的真空系統(tǒng)典型的運轉數據為:真空室200℃下烘烤3.5h后的真空度為10-8Pa 抽氣30h后達到的極限壓力<1×10-8Pa。
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