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 超高真空氣體成分分析及分壓力測(cè)量對(duì)真空質(zhì)諧計(jì)的要求  超高真空分壓力測(cè)量是通過(guò)真空質(zhì)譜計(jì)實(shí)現(xiàn)的。為了滿足超高真空氣體成分分  析及分壓力測(cè)量要求,對(duì)常用的真空質(zhì)譜計(jì)的選擇、安裝及使用提出如下特  ①為了在超高真空或極高真空條件下,能夠檢測(cè)到微量的氣體組分,選用的  真空質(zhì)譜計(jì)必須具有足夠高的檢測(cè)靈敏度,質(zhì)譜計(jì)的最小可檢分壓力技術(shù)指標(biāo)應(yīng)小  于10-10Pa,為了提高檢測(cè)靈敏度,通常選用帶倍增器離子收集的質(zhì)譜計(jì);質(zhì)譜計(jì)  的質(zhì)量范圍在1~100或1~50u就夠了。在1~4u輕質(zhì)量范圍內(nèi),儀器應(yīng)具有較  好的輕質(zhì)量測(cè)量特性  ②質(zhì)譜計(jì)的離子源最好選用開(kāi)式離子源并便于電子轟擊出氣,以減小“記憶  效應(yīng)”。  ③離子源的燈絲應(yīng)盡量選用低溫?zé)艚z,并在低發(fā)射電子流模式下工作,以減  小燈絲對(duì)分子的熱分解、電清除及化學(xué)清除效應(yīng)  ④質(zhì)譜計(jì)探頭和系統(tǒng)的連接管道的流導(dǎo)應(yīng)足夠大,最好選用裸規(guī)安裝形式實(shí)  現(xiàn)原位置測(cè)量  ⑤質(zhì)譜計(jì)探頭應(yīng)能承受400℃溫度的烘烤,尤其應(yīng)注意電子倍增器允許的烘烤  溫度,通常靜電式分離打拿極電子倍增器允許的烘烤溫度要更高一些。  ⑥質(zhì)譜計(jì)探頭體積小、重量輕,便于在超高真空系統(tǒng)上安裝  ⑦質(zhì)譜峰的離子流強(qiáng)和圖形系數(shù)應(yīng)對(duì)系統(tǒng)中氣體量之間具有一定的定量關(guān)系  ⑧具有一定的分辨本領(lǐng)和良好的峰形、一致的峰寬,便于定量測(cè)量計(jì)算機(jī)數(shù)  據(jù)處理。  ⑨在分壓力測(cè)量時(shí),離子源工作參數(shù)的電子加速能量應(yīng)選用標(biāo)準(zhǔn)值,從而可  以采用標(biāo)準(zhǔn)離子譜進(jìn)行定量測(cè)量  用于空間環(huán)境檢測(cè)的空間質(zhì)譜計(jì)除了滿足上述要求外,還應(yīng)滿足體積小、功耗  低、承受力學(xué)試驗(yàn)和其他特殊條件的要求。