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   低溫泵長期運轉(zhuǎn)達到飽和容量時,抽速急劇下降,這時就需要停泵升溫,使吸  附在低溫板上的氣體釋放出來,恢復(fù)原來的抽氣性能。升溫并用預(yù)抽泵抽除釋放出  冷凝吸附的氣體稱為“再生”.再生方式有兩種,全部再生(20K和7K低溫板升至室溫,釋放出低溫板吸附的全部氣體)和部分再生(僅放出77K低溫板吸附的氣體)
全部再生法有下面幾種方式。
①自然升溫法:關(guān)掉制冷機電源,利用泵壁的熱量使低溫泵緩慢升溫。開始時升溫很慢,當泵內(nèi)壓力升到對流換熱起作用時,升溫速率加快,最后達到穩(wěn)定的升溫值。
②放氣升溫法:停掉制冷機后,打開放氣閥放入清潔干燥的空氣使低溫泵低溫板快速升溫
③電加熱法:低溫泵中的一、二級低溫板上加裝電加熱器,再生時通電加熱使低溫板快速升溫,縮短再生時間
自然升溫法適用于完成一個工藝生產(chǎn)周期需要停掉低溫泵的場所。在運轉(zhuǎn)期間  抽除的氣體量很少,并沒有達到泵的飽和容量。關(guān)掉制冷機后讓其自然升溫,再生所釋放出的全部氣體,在低溫泵內(nèi)所形成的氣體壓力仍然在安全壓力下,一次再生需要5~6h
在一個工藝生產(chǎn)周期內(nèi),每次達到泵的飽和容量時要求快速再生的工藝流程作業(yè)場所,可采用放氣升溫法和電加熱法再生方式  部分再生和全部再生的不同之處是部分再生是將77K低溫板的升溫溫度控制  在140K以下,而不是室溫。該溫度下水的飽和蒸氣壓低于106Pa,冷凝在一級  被再生排除,這樣就大大縮短了再生時間。部分再生時間一般只需要40~60min而全部再生要長達5~6h(自然升溫法)

但是,部分再生若干次(20-25次)以后,還需要全部再生一次,用以徹底
清除20K低溫板捕集的所有氣體  再生低溫泵要特別注意安全問題,低溫泵再生釋放出來的氣體如果不及時抽  除、容器內(nèi)壓力很高,有可能引起爆炸,破壞泵體或真空計玻璃管殼殼體,如果低  溫泵運轉(zhuǎn)時間很短,抽除氣量很少,停泵再生時可以不用預(yù)抽泵抽氣,等下次啟動  低溫泵時再預(yù)抽釋放出的氣體,如果抽氣時間很長或抽除氣量很大,已達到飽和抽
氣容量,再生時必須啟動預(yù)抽泵抽除釋放氣體  (7)翻冷機低溫泵的安全
制冷機低溫泵的安全需要用戶特別加以重視。特別是用于抽出了大量的H2Ne、Hc氣體,停泵再生升溫到某一溫度時,水久性氣體的解吸速度很快(潛熱和顯熱值很小),數(shù)分鐘之內(nèi)便可使泵體內(nèi)壓力急劇增高,一旦泵內(nèi)壓力超過泵體鋼材所能承受的機械強度,輕則造成泵體變形,嚴重時會造成爆炸。廠家生產(chǎn)的制冷  機低溫泵的泵體上,一般都裝有安全閥,當泵體內(nèi)壓力超過安全壓力時,會自動打開安全閥將氣體排放到大氣中
使用制冷機低溫泵,有三點需要用戶認真考慮;
①務(wù)必經(jīng)常對安全閥進行性能檢查,防止由于閥門失效而造成安全事故
②務(wù)必不要使用這種低溫泵抽除H2、O2組合的危險混合氣體,以及SiH4這  樣的自燃性氣體和不混合的SiH4、O2氣體
③抽除像氘、氚這樣的放射性氣體和其他危險性氣體時,不能直接將再生的  氣體排放到大氣中,務(wù)必配備十分安全的氣體回收裝置,并對這些危險氣體進行  處理。