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真空泵維修之渦輪分子泵軸承及動(dòng)平衡
渦輪分子泵屬于高速精密機(jī)械,葉片轉(zhuǎn)速在6000~60000/min范圍,因此性  能優(yōu)良的分子泵除了內(nèi)部結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)外,軸承及裝配后的動(dòng)平衡,就顯得特別重要國(guó)產(chǎn)分子泵的軸承,大多采用普通高速軸承和陶瓷軸示
理想的空氣軸承和磁懸浮軸承摩擦力最小,并且可獲得絕對(duì)無(wú)油的清潔真空
可惜的是,這種動(dòng)態(tài)密封的轉(zhuǎn)動(dòng)和固定元件之間的間隙在10~20m,所以對(duì)固體微粒非常敏感,它要求壓縮空氣必須精細(xì)過(guò)濾,所含灰塵粒度不大于3m,含油量不大于5ppm被抽氣體中也不能有懸浮的固體微粒。此外,采用空氣軸承和空  氣透平驅(qū)動(dòng)所需要的空氣壓縮機(jī)及配備相應(yīng)的保護(hù)裝置,不僅占面積大、噪聲大,  而且還有維修問(wèn)題,其價(jià)格要高出用軸承支撐的分子泵數(shù)倍。在抽除大量氣體的大  型設(shè)備上,以及需要反復(fù)從大氣抽到高真空的設(shè)備上,為了縮短抽氣時(shí)間,往往還  要配置預(yù)抽泵或前級(jí)泵。大多數(shù)這樣的應(yīng)用中,動(dòng)態(tài)密封取代軸承就沒(méi)有優(yōu)點(diǎn)了  磁懸浮軸承,也具有空氣軸承的優(yōu)點(diǎn),缺點(diǎn)同樣是價(jià)格昂貴(與氣體軸承接  近),為了有效控制轉(zhuǎn)子的磁懸浮系統(tǒng),需要大的電磁鐵和復(fù)雜的電子裝置,而且  目前尚未達(dá)到實(shí)用階段,因此很少采用。  渦輪分子泵轉(zhuǎn)子高速旋轉(zhuǎn)時(shí)產(chǎn)生的微小不平衡,都能產(chǎn)生較大的離心力,直接  影響分子泵的振動(dòng)噪聲,嚴(yán)重時(shí),會(huì)使分子泵不能正常工作。分子泵動(dòng)平衡屬Q(mào)  精密平衡,不平衡量在0.4~1pm。用國(guó)產(chǎn)WD-73型動(dòng)平衡機(jī)對(duì)分子泵主軸轉(zhuǎn)速在  2400mi時(shí)進(jìn)行動(dòng)平衡試驗(yàn),用下式計(jì)算不平衡2輪分子泵  臥式分子泵雙吸轉(zhuǎn)子在它的兩端各有一個(gè)軸承。在轉(zhuǎn)子端部任何振動(dòng)都可能造  成大的噪聲,并且,它的頻率是轉(zhuǎn)子諧振頻率的整倍數(shù)。要求平衡后在渦輪分子泵  進(jìn)氣口法蘭處測(cè)得的殘余振幅小于0.1m以下  立式渦輪分子泵在轉(zhuǎn)子中部和下部裝有軸承,轉(zhuǎn)子上端的振幅較大,特別是大型立  式分子泵,其殘余振動(dòng)值比同樣大的臥式渦輪分子泵要高得多,最少在10倍以上  雙吸臥式渦輪分子泵的軸承更換比較容易,現(xiàn)代渦輪分子泵設(shè)計(jì)成甚至在更換  軸承過(guò)程中,轉(zhuǎn)子的位置也不動(dòng)。因?yàn)?更換軸承的質(zhì)量和整個(gè)轉(zhuǎn)子質(zhì)量相比很  小,更換后不會(huì)產(chǎn)生不平衡的問(wèn)題,所以不需要再做動(dòng)平衡試驗(yàn)。小型單吸分子泵  更換軸承時(shí),需要將兩個(gè)轉(zhuǎn)子軸承同驅(qū)動(dòng)電機(jī)一起拉出來(lái),真空泵維修更換軸承后要小心正確  地裝到原來(lái)位置上,就不需要再重新平衡渦輪分子泵的轉(zhuǎn)子  立式渦輪分子泵更換轉(zhuǎn)子軸承后,大多要重新做動(dòng)平衡實(shí)驗(yàn)。因?yàn)楦鼡Q軸承  時(shí),需要將整個(gè)轉(zhuǎn)子從支撐中心軸上取出來(lái),更換軸承后再重新精確地安裝到和以  前一樣的位置上,不平衡的危險(xiǎn)是很大的,所以,立式渦輪分子泵的生產(chǎn)廠(chǎng),建議  更換軸承要生產(chǎn)廠(chǎng)自己來(lái)做,或者在具有轉(zhuǎn)子動(dòng)平衡設(shè)備的大廠(chǎng)來(lái)更換軸承  立式單轉(zhuǎn)子渦輪分子泵和臥式雙轉(zhuǎn)子渦輪分子泵這兩種類(lèi)型,各有優(yōu)缺點(diǎn)。臥  式泵比立式泵的軸承設(shè)計(jì)要穩(wěn)定,最大抽速和最大壓縮比都可以設(shè)計(jì)得最佳。立式  單轉(zhuǎn)子進(jìn)口法蘭到轉(zhuǎn)子間的流導(dǎo)較臥式雙吸渦輪分子泵要大,用戶(hù)可以根據(jù)生產(chǎn)需 。要選用