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   渦輪分子泵的極限壓力p1可用泵出口壓力p2除以泵的壓縮比K得來，即(2-24)  K  渦輪分子泵的K值，隨分子量的增加而增大，它對(duì)油蒸氣的壓縮比特別大  因而能夠獲得碳?xì)浠衔镂廴据^少的清潔真空，但對(duì)于輕的氣體如氫的壓縮比卻很 低，所以前級(jí)氫分壓是影響泵的極限壓力最重要的因素，氫的分壓主要來源于前級(jí) 機(jī)械泵運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)油裂解產(chǎn)生氫的影響，不同牌號(hào)的前級(jí)機(jī)械泵油，對(duì)分子泵的極限壓  力的影響遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于泵軸承潤滑油的影響。高壓縮比的分子泵，經(jīng)過烘烤后能獲得  1×10=6~1×10-9Pa的真空度，氫占?xì)堄鄽怏w成分的90%以上。

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圖227所示為抽速為200L/s的渦輪分g  子泵其前級(jí)壓力p1對(duì)泵的極限壓力pm的影響。1可以看出，前級(jí)壓力從1Pa增大到130Pa時(shí)，泵的極限壓力不受影響，當(dāng)前級(jí)壓力從65Pa提前級(jí)壓力高到130Pa時(shí)，泵的極限壓力從4×105Pa增  加到2×10-3Pa，前級(jí)壓力從130Pa繼續(xù)提高到200Pa時(shí)，泵的極限壓力迅速增大三個(gè)數(shù)量級(jí)，  此時(shí)受泵的抽氣葉列中氣體流動(dòng)狀態(tài)變化的影響，泵的壓縮比從K=104降到  K=102。