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　　(1)清潔油擴散泵。使用油擴散泵生產(chǎn)廠家提供的新泵或調(diào)試好的新泵可直接接入真空系統(tǒng)工作。但舊泵或 長期放置的新泵，在接入真空系統(tǒng)前，應對泵中零件進行清潔處理并換油。

　?、俪ケ眯颈砻婧捅帽谏系臋C械雜質(zhì)和各種油污;

　　②先用干凈的汽油擦洗各零件和泵內(nèi)壁表面后用丙酮、四氟化碳清洗這些零件和泵內(nèi)壁表面，玻璃油擴散泵則用重鉻酸鉀洗液清洗。然后用熱風吹于，并放置在無灰塵周圍清潔 的環(huán)境中

　?、郯错樞?qū)⒈眯狙b入泵腔中，調(diào)整好各級噴嘴間隙，并擰緊固定噴嘴的支撐桿，大泵 還需調(diào)整好四周固定螺桿，以防止噴嘴的正確位置。然后按規(guī)定數(shù)量加足萊寶真空泵油，泵油有時可 根據(jù)經(jīng)驗測量油層厚度，一般約1cm深即可

　?、軝z查加熱電爐的電爐絲是否燒斷、短路，電爐的絕緣性能、保溫性能是否良好。

　　⑤檢查水冷管(或水冷套)是否漏水、堵塞。要求水路暢通，水量充足。

　?、迣⒈媒尤苏婵障到y(tǒng)，并對系統(tǒng)進行檢漏，要求系統(tǒng)漏氣率在允許范圍內(nèi)。

　　(2)油擴散泵的使用規(guī)程

　?、儆蛿U散泵的開泵順序

　　a.接通擴股的冷卻水，用機械泵抽預真空。當擴散泵入口壓力低于0.1P。時，接通 擴散夏加熱電爐的電源，對擴散泵開始加熱。

　　b.對于K-400以下的小泵，加熱1h后泵可正常工作，K500以上的大泵，需要加熱1 h后，泵才能正常工作，因此，在使用擴散泵系統(tǒng)時，應注意安排好擴散泵的啟動時間 c.打開擴散泵的入口間門，泵即可正常工作

　?、谟蛿U散泵的停止順序

　　a.關(guān)閉擴散入口高真空閥門和真空計電源

　　b.切斷擴散泵加熱電源，機械泵繼續(xù)工作

　　c.再工作30min(小泵)到2h(大泵)后，關(guān)閉擴散泵與機械泵之間的閥門，停止機 械泵工作，并向機械泵放入大氣(如果機械泵入口裝有電磁放氣閥，在切斷機械泵電源后，會因電氣聯(lián)鋇而自動放氣)。

　　d.當泵的油鍋溫度接近室溫(50~60℃)后，關(guān)閉擴散泵的冷卻水

　　c.為加快擴散泵冷卻，可以卸下電爐，采用噴淋水的方法冷卻。K200以下的小型泵，也可以采用裝冷水的塑料盒放在泵的底部直接冷卻。現(xiàn)代大型擴散泵都在油鍋外壁設有急冷水管(或水套),泵正常工作時不通水，切斷電源時通水急冷

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　　a.當擴散泵內(nèi)油溫較高時，不允許放入大氣，以防泵油氧化變質(zhì)，影響泵正常工作停泵時應保證泵內(nèi)處于真空狀態(tài)。

　　b.長期停泵時，水冷管(套)內(nèi)的冷卻水應放盡，并用壓縮空氣吹干

　　c.機械泵停止工作同時從泵入口放氣，以免機械泵油流入擴散泵內(nèi)，現(xiàn)代擴散泵機組都設計有電磁放氣閥，停泵時自動放氣。

　　d.擴散泵正常工作后，才能打開泵人口高真空閥，停泵時先關(guān)高真空閥，以減少泵油返流污染被抽容器。

　　e.應確保冷卻水暢通，泵內(nèi)真空度低于1Pa時才能對擴散泵加熱，定期檢查泵油，及時加注或更換。擴散泵抽氣機組的水冷卻系統(tǒng)應裝有斷水自動報警器和水壓繼電器，確保擴散泵冷和水的暢通，一旦斷水及時處理。

　?、苡蛿U散泵的故障分析及處理 擴散泵在長期使用后，如果泵的工作性能逐漸變壞即極限壓力升高和抽速下降),而其他情況正常，則主要是泵油氧化變質(zhì)。這時將擴散泵卸 觀察泵油的顏色，如果泵油顏色發(fā)黑，混著物較多，不但使泵油氧化變質(zhì)，而且泵油已 黑，此時應更換新油。如果泵接入系統(tǒng)后，真空度抽不上去，則首先檢查泵所在系統(tǒng)的漏 率是否超過允許值，同時檢查泵電爐的供電電壓是否正常，泵的冷卻是否正常。如果上述方面一切均正常，則可認為是泵芯裝配方面的問題，泵芯裝配前未清洗干凈，或者泵芯裝配不正。