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 往復真空泵的工作原理如圖4-1所示。主要部件是汽缸1及在其中做往復直線運動的活  塞2?；钊尿寗邮怯们B桿機構3來完成  除上述主要部件外還有排氣閥4和吸氣閥5。  運轉時，在電動機的驅動下，通過曲柄連桿  機構的作用，使汽缸內的活塞做往復運動。當活  塞在汽缸內從左端向右端運動時，由于汽缸的左  腔體積不斷增大，汽缸內氣體的密度減小，而形  成抽氣過程，此時容器中的氣體經過吸氣閥5進  入泵體左腔，當活塞達到最右位置時

二極濺射離子泵對氬的抽速不僅特別低，而且還有上述的氬的不穩(wěn)定性，這主  要是二極泵濺射區(qū)與抽除惰性氣體的掩埋區(qū)在同一塊陰極板上，被掩埋的惰性氣體  屬于物理吸附，很容易被后來的離子再轟擊出來。為了克服二極濺射離子泵的缺  點，在二極濺射離子泵的結構上作了一些改進，發(fā)展出各種不同于二極泵結構的多  極多電位濺射離子泵

       其他超高真空熱陰極電離計  4.2.3.1抑制規(guī)  抑制型電離真空計是通過安裝在離子收集極附近的抑制電極，使離子收集極發(fā)  射的光電子返回到它自身，來降低X射線極限值的一種熱陰極電離真空計。抑制  規(guī)規(guī)管結構如圖4-2所示，由陰極、加速極、離子收集極和帶屏蔽罩的抑制極(屏  蔽極)組成。

1泵及其四周環(huán)境應經常保持清潔。 

 2.泵在運轉過程中應保持油箱內油量不得低于油標中心。 

3不同種類和牌號的真空泵油不可混合使用。 

4.泵在使用中溫升不能超過70℃。